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Automation System

‘Full Automation’ — SECS-GEM 제어기술을 접목

Full Automation

Automation System 라인업

SECS-GEM 제어기술을 접목

Flip Chip Bonding 및 SMT 공정의 기판·지그 자동 로딩/언로딩 시스템

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전기적 특성 검사 이후 모듈을 분류·이송하는 핸들러 시스템

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Reel 내 소자 보호를 위한 Protective Band ESD 테이프 부착 시스템

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Die Bonding 공정용 Metal Jig를 DI Water와 고온·고압 스팀으로 자동 세정하는 친환경 시스템

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Jar Box, FOSB 및 Cassette 간 웨이퍼 ID 확인·정렬·이송·패킹을 양방향으로 자동화하는 시스템

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FOUP 또는 Cassette의 웨이퍼를 고온 Chamber에 자동 투입·회수하는 완전 자동화 베이크 시스템

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